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2BTECH 106L半導(dǎo)體工廠潔凈室臭氧分析儀設(shè)計(jì)用于測量低至很低ppb水平的環(huán)境臭氧濃度。然而，由于我們的臭氧監(jiān)測儀的動(dòng)態(tài)范圍大，106-L型也可用于濃度高達(dá)100ppm（100000 ppb）的臭氧的精確測量。該儀器的精度和精密度與我們最初的202型臭氧監(jiān)測儀相當(dāng)，該監(jiān)測儀廣泛用于大氣研究人員的現(xiàn)場測量。

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